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<正>在65nm及以下节点,掩膜版的清洗变得更为关键,需要采用新的方法和技术。在传统的湿法工艺化学顺序中,首先用硫酸／双氧水混合液,然
掩膜版清洗和光刻胶去除面临的挑战
【摘 要】
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<正>在65nm及以下节点,掩膜版的清洗变得更为关键,需要采用新的方法和技术。在传统的湿法工艺化学顺序中,首先用硫酸／双氧水混合液,然
【机 构】
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Papanu Applied Materials,
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年06期
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