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在化学机械抛光中,抛光垫的材料是重要影响因素之一,它直接影响着抛光效果。本文介绍了化学机械抛光垫的基本材料、材料特性及其对抛光效果的影响,目前化学机械抛光加工中所采用的抛光垫材料及主要用途,对各种抛光垫材料在抛光过程中存在问题进行了分析,同时展望了抛光垫材料的发展趋势。
化学机械抛光中抛光垫材料的研究与展望
【摘 要】
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在化学机械抛光中,抛光垫的材料是重要影响因素之一,它直接影响着抛光效果。本文介绍了化学机械抛光垫的基本材料、材料特性及其对抛光效果的影响,目前化学机械抛光加工中所
【机 构】
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浙江工业大学超精密加工研究中心,特种装备制造与先进加工技术教育部／浙江省重点实验室,宁波市特种设备检验研究院
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2010年12期
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