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采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.5ZnNb1.5O7（BZN）陶瓷靶材,采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/Si（100）基片上制备立方BZN薄膜。研究了沉积氧压的变化对薄膜的结晶性能,微观形貌以及介电性能的影响。结果表明：沉积的BZN薄膜都呈现出立方焦绿石单相结构,但是薄膜的取向随氧压变化而变化。当沉积氧压为10 Pa时,薄膜的（222）晶面拥有最强的择优取向。随着氧压的升高,BZN薄膜的介电常数明显降低。在10 Pa氧压下沉积的BZN薄膜展示出介电可调特性为5%（500 kV/cm）。