论文部分内容阅读
微电子机械系统的快速发展对其建模仿真也提出了较高要求.首先介绍了一种微电子机械系统原理级描述仿真方法,它基于成熟的微机械元件库,提供微器件的原理级描述,使得仿真更简单、更高效,但目前其适用范围有限.然后介绍了用这种方法分析叉指式微电容加速度计的结果.
叉指式加速度计的一种仿真法分析
【摘 要】
：
微电子机械系统的快速发展对其建模仿真也提出了较高要求.首先介绍了一种微电子机械系统原理级描述仿真方法,它基于成熟的微机械元件库,提供微器件的原理级描述,使得仿真更简
【机 构】
：
中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
：
2003年6期
其他文献
气相色谱-负化学源质谱法（GC-NCI-MS）技术被广泛应用于环境、人体组织、食品等样品中污染物的定性分析和定量测定。综述了近年来气相色谱-负化学源质谱技术在食品安全分析如农
以重力摆为基准的摆式倾斜角传感器静态性能好、成本低,但受加速度的干扰,不能用于动态测量倾角;以自由陀螺保持自身对称轴在惯性参考系中的方位不变作基准的位置陀螺仪原理上适用于动态测量倾斜角,但是成本高,使用环境受限制。通过结构设计、信号处理,检测力矩电机工作电流增量控制电磁阻尼器的阻尼力矩,抵消刚体转子产生进动力矩,使摆系统不受外力干扰,集摆式倾角传感器和位置陀螺仪的优点,设计了可抑制加速度干扰倾角传
分析了轨道衡普遍采用的多传感器输出并联产生误差的原因.介绍了应用基于算术平均值与分批估计的数据融合方法处理轨道衡多传感器输出的数据,提高轨道衡准确度。
介绍了一种无人机飞控设备检测系统,给出了系统的组成和硬件配置,讨论了系统软件设计和测试原理。该系统可以自动检测和校准无人机各种传感器、机载计算机及舵机的输出参数,具有一定的可靠性和准确性。