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阐述了微电子机械系统的定义、内容、特点、发展现状、应用前景及其对国民经济、科学技术、国防和人民生活所具有的重要意义；介绍了目前国际上在该领域的成就和未来的发展趋势。
机电一体化技术的杰出成就：微电子机械系统
【摘 要】
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阐述了微电子机械系统的定义、内容、特点、发展现状、应用前景及其对国民经济、科学技术、国防和人民生活所具有的重要意义；介绍了目前国际上在该领域的成就和未来的发展趋势
【机 构】
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武汉工业大学机电学院,辽宁省机械研究院
【出 处】
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机电一体化
【发表日期】
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1998年1期
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