创新:MEMS行业与生俱来的能力

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【摘要】

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<正>Claire TROADEC Yole Development公司MEMS及半导体制造分析专家回顾微电子机械系统(MEMS)的初始发展,MEMS已经走过了很长的一段道路。20世纪80年代,人类进入了信息时代,

【出处】

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电子产品世界

【发表日期】

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2015年11期

【关键词】

：

微机电系统半导体制造

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<正>Claire TROADEC Yole Development公司MEMS及半导体制造分析专家回顾微电子机械系统(MEMS)的初始发展,MEMS已经走过了很长的一段道路。20世纪80年代,人类进入了信息时代,信息和数据的处理成为PC个人计算机以及之后的膝上型计算机发展中的重点。自2000年起,进入了传感和与广泛传播的MEMS

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