【摘 要】
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衬底材料作为半导体照明产业技术发展的基石，是半导体照明产业的核心，具有举足轻重的地位，直接决定了LED芯片的制造路线。高亮度LED的半导体材料体系对衬底材料提出的要求比传统
【机 构】
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浙江师范大学机械工程系,浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室、超精密加工研究中心
【基金项目】
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国家自然基金资助项目(50705088)
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衬底材料作为半导体照明产业技术发展的基石，是半导体照明产业的核心，具有举足轻重的地位，直接决定了LED芯片的制造路线。高亮度LED的半导体材料体系对衬底材料提出的要求比传统的LED更为严格。衬底材料表面的粗糙度、热膨胀系数、热传导系数、极性的影响、表面的加工要求以及与外延材料间晶格间不匹配数，这些因素与高亮度LED的发光效率与稳定性密切相关。重点介绍几种典型材料与外延材料的晶格匹配及其加工要求，从材料制备难易程度和衬底与外延薄膜的化学稳定性对各种衬底材料进行比较分析，并对衬底材料的应用前景进行了预测。
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