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单晶硅晶体生长炉具有非线性和大纯滞后的特点，应用常规PID控制难以实现有效控制。采用Fuzzy-PID复合控制模型，在Windows平台下实现了有效的控制，并给出实时控制的程序设计方法。
Fuzzy—PID复合控制在单晶硅等径生长中的应用
【摘 要】
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单晶硅晶体生长炉具有非线性和大纯滞后的特点，应用常规PID控制难以实现有效控制。采用Fuzzy-PID复合控制模型，在Windows平台下实现了有效的控制，并给出实时控制的程序设计方法
【机 构】
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西安理工大学自动化与信息工程学院
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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2001年3期
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