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半导体的光加工和核聚变等离子体中轻元素的密度测定等，对近于100 nm波长区高功率真空紫外激光器的要求正在增高。最近，电子束激发氩准分子激光器已在这个波长区获得相当高的功率振荡。
氩准分子激光器
【摘 要】
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半导体的光加工和核聚变等离子体中轻元素的密度测定等，对近于100 nm波长区高功率真空紫外激光器的要求正在增高。最近，电子束激发氩准分子激光器已在这个波长区获得相当高的功率振荡。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1986年23期
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