【摘 要】
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＜正＞浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院-乾晶半导体联合实验室和浙江大学硅材料国家重点实验室在浙江省“尖兵计划”等研发项目的资助下，成功生长出了厚度达到50 mm的6英寸碳化硅单晶。该重要进展意味着，碳化硅衬底成本有望大幅降低，半导体碳化硅产业发展或将迎来发展新契机。目前，国内碳化硅单晶的直径已经普遍能达到6英寸，但其厚度通常在20～30 mm之间，导致一个碳化硅晶锭切片所获得的碳化硅衬底片
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＜正＞浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院-乾晶半导体联合实验室和浙江大学硅材料国家重点实验室在浙江省“尖兵计划”等研发项目的资助下，成功生长出了厚度达到50 mm的6英寸碳化硅单晶。该重要进展意味着，碳化硅衬底成本有望大幅降低，半导体碳化硅产业发展或将迎来发展新契机。目前，国内碳化硅单晶的直径已经普遍能达到6英寸，但其厚度通常在20～30 mm之间，导致一个碳化硅晶锭切片所获得的碳化硅衬底片的数量相当有限。
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