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介绍了辐射法热力学温度测量用精密光阑的技术要求、面积测量方法和不确定度的分析.利用扫描电子显微镜测量5 mm和25 mm精密光阑的孔径,边缘厚度小于5μm,孔径面积测量相对标准不确定度分别为1.38×10-4和6.36×10-5.
辐射法热力学温度测量用精密光阑的面积测量及不确定度分析
【摘 要】
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介绍了辐射法热力学温度测量用精密光阑的技术要求、面积测量方法和不确定度的分析.利用扫描电子显微镜测量5 mm和25 mm精密光阑的孔径,边缘厚度小于5μm,孔径面积测量相对标
【机 构】
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中国计量科学研究院
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2004年期
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