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分别使用有机溶胶-凝胶以及无机溶胶作为羟基磷灰石（HA）前驱体，利用浸渍涂层（Dip-coating）技术在钛表面制备纳米超薄薄膜。利用扫描电镜（SEM）和X射线衍射（XRD）表征薄膜形态、微晶尺寸分布（D）和微观应变（ε）。结果表明：在大于400℃热处理后，薄膜开始呈现磷灰石结构；在400℃～600℃范围内，热处理温度对两种磷灰石薄膜D和ε的影响显著；SEM结果证明HA前驱体种类严重影响两种纳米HA薄膜的颗粒团聚尺寸；有机溶胶-凝胶和无机凝胶在钛表面制备的HA薄膜颗粒团聚尺寸分别为25nm和100nm，