【摘 要】
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针对微机电系统中电热微执行器和位移放大机构都具有柔性的事实，从理论上分析了作为负载系统的柔性位移放大机构对微执行器输出位移的影响，并用有限元方法对二者的工作性能进行
【机 构】
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西安交通大学精密工程研究所西安交通大学机械系统工程国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（批准号：50535030,50475085）及国家重点基础研究发展规划（批准号：2004CB619302）资助项目
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针对微机电系统中电热微执行器和位移放大机构都具有柔性的事实，从理论上分析了作为负载系统的柔性位移放大机构对微执行器输出位移的影响，并用有限元方法对二者的工作性能进行了仿真．结果表明，电热微执行器外接负载的刚度和执行器本身刚度的比值是影响整个组合器件性能的重要因素．最后用深层反应离子刻蚀技术（DRIE）在硅隔离衬底（SOI）上加工了电热微执行器和柔性位移放大机构，并对其进行了测试，测试结果与有限元分析结果符合得很好．
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