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微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成高度的特点。近十年来，在研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。
微机械元件和仪器的新进展
【摘 要】
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微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成高度的特点。近十年来，在研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。
【机 构】
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大连理工大学机械系
【出 处】
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仪器仪表标准化与计量
【发表日期】
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2000年5期
【基金项目】
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国家 863计划,,辽宁省博士起动基金,,博士后基金
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