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本文介绍了用射频溅射法制备的Ｎｉ膜热敏电阻的特性及相应工艺条件。
Ni膜热敏电阻的制备
【摘 要】
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本文介绍了用射频溅射法制备的Ｎｉ膜热敏电阻的特性及相应工艺条件。
【机 构】
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沈阳工业大学电子系,沈阳工业大学电子系
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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1999年5期
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