高阻NTD—FZ—Si—P^+n结电子辐照缺陷能级N2气氛的退火特性

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:maomao11111
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报导了高阻(81 ̄110Ω·cm)NTD-FZ-Si-P^+n结中电子辐照缺陷态的退火特性。在N2氢气保护下进行等时、等温退火,测量了它们的DLTS谱和相应的少数载流子寿命,并对结果进行了分析讨论。
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