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为解决一种双极集成电路在生产中欧姆接触电阻过大的问题，针对关键工艺进行了统计分析和专项实验，找到了问题的原因和解决方法，对提高大规模集成电路的工艺制造稳定性具有非常重要的意义。
双极电路欧姆接触问题的工艺分析与解决方案
【摘 要】
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为解决一种双极集成电路在生产中欧姆接触电阻过大的问题，针对关键工艺进行了统计分析和专项实验，找到了问题的原因和解决方法，对提高大规模集成电路的工艺制造稳定性具有非常重
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2007年5期
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