【摘 要】
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对陶瓷基板上的集成微电感模型进行了分析。由于陶瓷基板的介电常数比Si基板低,电阻率极高,因此衬底损耗大大减小,从而有效提高了电感的Q值。同时,为了更好进行对比,研究中采
【机 构】
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清华信息科学与技术国家实验室筹,清华大学微电子学研究所,清华大学信息技术研究所
【基金项目】
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国家重大科技专项(2009ZX02038) 致谢 本研究得到高密度集成电路封装技术国家工程实验室的支持,研究中使用的平坦化陶瓷基板由清华大学核能技术研究院侯悦老师提供,在此表示感谢!
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对陶瓷基板上的集成微电感模型进行了分析。由于陶瓷基板的介电常数比Si基板低,电阻率极高,因此衬底损耗大大减小,从而有效提高了电感的Q值。同时,为了更好进行对比,研究中采用相同工艺在陶瓷基板和Si基板上同批制作了集成电感,两者的结构参数完全一致。测试结果表明,两者的电感值L基本相同,然而陶瓷基板上集成微电感Q值的峰值要比Si基板集成微电感高7左右,Si基板上Q值峰值在5 GHz以下,而陶瓷基板集成微电感的Q值峰值在10 GHz左右。
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