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数据采样过程中，由于操作系统定时精度、任务切换等因素的影响，采样系统无法实现均匀采样。使用普通的均匀离散傅里叶变换处理非均匀采样数据会存在较大误差。针对光栅刻划机系统，采用了时域插值方法和非均匀离散傅里叶变换方法进行了仿真验证，对比均匀傅里叶变换结果，减小了频谱变换带来的误差。使用时域插值法和非均匀傅里叶变换，对光栅刻划机实际采样数据进行分析，获得了更好的效果。