脉冲激光诱导蒸气沉积硅薄膜

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近年来,激光诱导化学反应研究的很广泛。激光的频率调谐到与分子的振荡能级相匹配时,分子的振动模式将受到很大影响。类似分子的激发,可以导致在基板上沉积固体薄膜。硅薄膜在太阳能材料和半导体工业方面是很重要的。它可用不同的方法来制备,其中化 In recent years, laser-induced chemical reaction is very extensive. When the laser’s frequency is tuned to match the molecular oscillation level, the molecular vibrational mode will be greatly affected. Excitation of similar molecules can result in the deposition of a solid film on the substrate. Silicon thin films are important in the solar materials and semiconductor industries. It can be prepared in a variety of ways, which can be neutralized
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