【摘 要】
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以Ａｒ＋１０％Ｈ２（体积分数）Ｈ２及Ｎ２为载气，采用射频ＰＣＶＤ技术在４０Ｃｒ钢表面制备了ＢＮ膜，对沉积ＢＮ膜进行了ＦＴＩＲ，ＴＥＭ和ＳＥＭ等分析，并对不同载气下膜与基体的结合力，膜层残余应力，硬度及耐磨性进行了比较，结果表明，ＢＮ膜中，ｃ－ＢＮ含量分别为５８．１％，２７．７％和２７．４％，膜厚
【机 构】
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西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
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以Ａｒ＋１０％Ｈ２（体积分数）Ｈ２及Ｎ２为载气，采用射频ＰＣＶＤ技术在４０Ｃｒ钢表面制备了ＢＮ膜，对沉积ＢＮ膜进行了ＦＴＩＲ，ＴＥＭ和ＳＥＭ等分析，并对不同载气下膜与基体的结合力，膜层残余应力，硬度及耐磨性进行了比较，结果表明，ＢＮ膜中，ｃ－ＢＮ含量分别为５８．１％，２７．７％和２７．４％，膜厚分别为４．６μｍ，２．０μｍ和３．３μｍ。
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