溶胶-凝胶法制备ITO薄膜研究进展

来源 :材料科学与工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qinyue_love

【摘要】

：

概述了近年来国内外溶胶-凝胶法（Sol-Gel）制备ITO薄膜的研究状况，对Sol-Gel法制备ITO薄膜工艺做了简要介绍，重点讨论了Sol-Gel法制备ITO薄膜的溶胶体系，分析比较了有机醇盐、无机

【作者】

：

张学骜吴文健满亚辉刘长利

【机构】

：

国防科技大学航天与材料工程学院

【出处】

：

材料科学与工艺

【发表日期】

：

2007年2期

【关键词】

：

溶胶-凝胶法 ITO薄膜制备工艺应用 Sol - Gel Process ITO thin films preparation technologi

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概述了近年来国内外溶胶-凝胶法（Sol-Gel）制备ITO薄膜的研究状况，对Sol-Gel法制备ITO薄膜工艺做了简要介绍，重点讨论了Sol-Gel法制备ITO薄膜的溶胶体系，分析比较了有机醇盐、无机盐以及掺入ITO粉末方法体系的优缺点，最后讨论了甩膜法、提拉法及平铺法在Sol-Gel法制备ITO薄膜中镀膜的应用．指出Sol-Gel法是一种高效可行的制备ITO薄膜的方法，有着广阔的应用前景．

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