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2010年3月16日，为大规模半导体设备制造商提供高效节能的前端与后端自动装置解决方案及工程服务的领先供应商Crossing Automation公司宣布，已将自己的Spartan^TM设备前端模块（EFEM）的性能提高至450张晶圆／小时。改进设计的目的是满足高通量半导体制造工艺如剥离，去胶、清洗和离子注入的需要。由于拥有专有的晶圆机常压机器人，改进后的Spartan EFEM可在不到2．5s的时间内以最快的速度进行晶圆切换，实现100％的工艺设备利用率。