【摘 要】
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各国学者都承认化学抛光属于电化学反应过程,但在文献中只能找到普通的化学反应方程或一个阳极反应方程另加一个化学方程。关于整平致亮的机理,则有多种不同的假设,而每种假
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各国学者都承认化学抛光属于电化学反应过程,但在文献中只能找到普通的化学反应方程或一个阳极反应方程另加一个化学方程。关于整平致亮的机理,则有多种不同的假设,而每种假设都存在不足之处。本文试图对化学抛光的反应过程及整平机理的各种假设分类予以简介和讨论,并从电化学角度出发,考虑了化学抛光与电抛光机理的异同,提出了自己的看法。包括:(1)提出了化学抛光阳极和阴极过程的五个电化学反应模式;(2)提出了整平机理的一种新假设——双特性假设。运用这些模式和假设,本文还对化学抛光的一些现象作了解释,其中反映了选择化学抛光方案时可供参考的一些原则。
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