水平辊式扩散制备太阳电池

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介绍了采用水平辊式扩散工艺制备出了效率大于17%的多晶硅太阳电池;采用五点法测量电池的方块电阻结果较管式扩散均匀性有提升;少子寿命在20μs以上;ECV结果表明辊式扩散易容易实现浅结扩散。
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