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论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑(LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术在MEMS产品中的应用前景.
微／纳米级微电子机械系统制造新技术
【摘 要】
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论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑(LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术在MEMS产品中的应用前景.
【机 构】
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江苏大学应用科学技术学院,江苏大学电气信息工程学院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2005年8期
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