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40Cr基体与TiN膜层界面微观结构研究
40Cr基体与TiN膜层界面微观结构研究
来源 :佳木斯大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhengjunzhe
【摘 要】
:
在40Cr基体上镀TiN,存在膜基结合不牢的问题.作者前期工作已证实在镀TiN膜前先进行离子渗氮予处理,可以提高膜基结合力.本文从微观的方面对这一机理进行研究.膜层及膜基界面的
【作 者】
:
刘一梅
王亮
黑祖昆
【机 构】
:
大连海事大学
【出 处】
:
佳木斯大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
离子渗氮
微观
机理
膜基界面
氮化钛
铬
CrTiNion-nitridingmicro-mechanisminterface between film an
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在40Cr基体上镀TiN,存在膜基结合不牢的问题.作者前期工作已证实在镀TiN膜前先进行离子渗氮予处理,可以提高膜基结合力.本文从微观的方面对这一机理进行研究.膜层及膜基界面的透射电镜观察结果表明,40Cr基体经离子渗氮后再镀TiN,膜层晶粒细小、均匀,膜基结合紧密.
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