40Cr基体与TiN膜层界面微观结构研究

来源 :佳木斯大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhengjunzhe
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在40Cr基体上镀TiN,存在膜基结合不牢的问题.作者前期工作已证实在镀TiN膜前先进行离子渗氮予处理,可以提高膜基结合力.本文从微观的方面对这一机理进行研究.膜层及膜基界面的透射电镜观察结果表明,40Cr基体经离子渗氮后再镀TiN,膜层晶粒细小、均匀,膜基结合紧密.
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