Dependence of surface morphology of CVD diamond films on deposition conditions

来源 :半导体光子学与技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaoxie20092009

【摘要】

：

The diamond films have been deposited by the hot filament CVD method on molybdenum substrates from the mixture reactant gas of acetone and hy-drogen.The surface

【作者】

：

YANGGuowei MAOYude

【机构】

：

Dept.ofPhys.XiangtanUniversity,Dept.ofAppl.Phys.HefeiUniversityofTechnol

【出处】

：

半导体光子学与技术：英文版

【发表日期】

：

1995年1期

【关键词】

：

化学气相沉积介电薄膜光薄膜沉积条件材料实验 Dielectric Thin Films Optical Films CVD Material Testi

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The diamond films have been deposited by the hot filament CVD method on molybdenum substrates from the mixture reactant gas of acetone and hy-drogen.The surface morphologies of the obtained diamond films under various de-position conditions have been obse

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