【摘 要】
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为掌握和了解TFT-LCD行业生产过程中,各工艺环节挥发性有机物(VOCs)的排放特征,以国内某TFT-LCD制造公司为例,研究了各生产车间的VOCs浓度分布。结果表明阵列生产车间VOCs均
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为掌握和了解TFT-LCD行业生产过程中,各工艺环节挥发性有机物(VOCs)的排放特征,以国内某TFT-LCD制造公司为例,研究了各生产车间的VOCs浓度分布。结果表明阵列生产车间VOCs均值浓度最高,波动范围为4.14~11.19×10-6(1~12月);彩膜(CF)生产车间光刻胶成分比较复杂,绿胶产线VOCs均值浓度最高,为4.6~14.50×10-6(1~12月);阵列和CF车间VCD区域,VOCs浓度最高;降低TFT-LCD生产车间VOCs的浓度关键在于源头控制,投加沸石转轮吸
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