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为提高MEMS加速度计可靠性评估精度,提出一种基于单调性的建模方法。采用Wiener过程模型库对非单调退化产品建模,采用Wiener过程、Gamma过程和IG过程模型库对单调退化产品建模。为避免采用相对单一的偏差信息准则(Deviation Information Criterion,DIC)值作为模型选择依据可能导致模型误判问题,提出先验证、后选择的模型选择新方法。在验证待选模型符合随机过程统计特性基础上,综合应用DIC值、QQ图、箱线图等定性定量方法进行模型选择。实例验证了所提方法的有效性。