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通过直流伺服电机、精密导轨、光栅尺位置反馈系统，建立了高精度次镜位置控制系统，并在光学系统上得到了应用。采用传统的PID位置控制算法，对次镜的位置控制精度达到了0．1μm。
次镜高精度位移的控制系统
【摘 要】
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通过直流伺服电机、精密导轨、光栅尺位置反馈系统，建立了高精度次镜位置控制系统，并在光学系统上得到了应用。采用传统的PID位置控制算法，对次镜的位置控制精度达到了0．1μm。
【出 处】
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中国工程物理研究院科技年报
【发表日期】
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2006年1期
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