【摘 要】
：
第三代半导体材料GaN由于具有优良性质使其在微电子和光电子领域有广阔的应用前景,目前制备GaN的方法主要有分子束(MBE)、氯化物气相外延(HVPE)、金属有机物化学气相沉积(MOC
【基金项目】
：
河北省自然科学基金(F2009000124)
论文部分内容阅读
第三代半导体材料GaN由于具有优良性质使其在微电子和光电子领域有广阔的应用前景,目前制备GaN的方法主要有分子束(MBE)、氯化物气相外延(HVPE)、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)。其中HVPE技术制备GaN的速度最快,适合制备衬底材料;MBE技术制备GaN的速度最慢;而MOCVD制备速度适中。因而MOCVD在外延生长GaN材料方面得到广泛应用。介绍了MOCVD法外延生长GaN材料的基本理论、发展概况、利用MOCVD法外延生长GaN材料的技术进展。认为应结合相关技术发展大面积、高质量GaN衬底的制备技术,不断完善缓冲层技术,改进和发展横向外延技术,加快我国具有国际先进水平的MOCVD设备的研发速度,逐步打破进口设备的垄断。
其他文献
在新的时代背景下,我国的建筑的数量在不断的增多,并且建筑的结构也变得越来越复杂,这样在建筑工程施工过程中,就给电气安装工作带来了很大的挑战。所以要不断的提高电气工程
员工培训的意义主要体现在提升医院服务水平,加强医院文化建设,促进员工个人发展。当前医院在员工培训方面的困境包括培训缺乏系统性,缺乏需求调研和效果评估,培训形式不够灵
本文运用文献资料法、专家访谈法、现场观察统计法、数理统计等方法,以2009年第五届陕西省大学生网球赛男子单打比赛(包括男子团中的单打比赛)为研究对象,通过对选手技术的运
针对路基冻融界面处土体受到不同冻融温度作用影响,进行了变温度区间冻融循环下石灰改良土回弹模量的室内试验。试验结果表明,回弹模量随着含水率的增加而降低,随冻融循环次
<正>2018年1月8日,2017年度国家科技奖励大会在人民大会堂隆重举行。《环境工程学报》副主编刘会娟研究员主持的"功能性吸附微界面构造及深度净水技术"项目荣获国家技术发明
循环经济已成为当今全球性的关注热点。如何有效地将废弃物中的有用资源再回收利用是构建循环经济系统、实现可持续性发展的关键。而资源化率则是衡量循环经济系统效率的关键
近年来随着社会的发展及经济的进步,人们的生活质量逐渐提高,与此同时人们对居住环境的要求也日益提高,要求建筑结构既具有耐久性和安全性,还要具备一定的经济性和美观性。于
高校学生心理健康教育的任务,就是要全面促进学生积极心理状态的发展,全面提高学生追求幸福和感受幸福的能力。积极心理学是高校学生心理健康教育发展的必然选择。以积极心理
随着人们生活质量的改善以及生活水平的提高人们的需求层次也在逐渐的提升,结构优化技术在建筑结构中的应用也越来越广泛,对于各种建筑结构优化技术的需求也越来越大。本文主
已注册商标是否是通用名称的判断需要尊重该标志的历史发展、其使用的广泛性。如果未达到公众普遍使用其指称某类商品,而仅仅是特殊商品的名称,不能认定为通用名称。符合地理