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由已有热力学和相图实验数据，用Ｃａｌｐｈａｄ技术优化出一级描述Ｇａ－Ｉｎ－Ａｓ三元体系热力学性质的数学模型，定量估算了在用外延法制作Ⅲ－Ⅴ族化合物时，由于外延层和衬底晶格不匹配，外延分子晶格弹性形变的形变能对固液平衡相图的影响，计算相图和实验结果基本一致。
晶格形变情况下Ga-In-As体系热力学研究
【摘 要】
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由已有热力学和相图实验数据，用Ｃａｌｐｈａｄ技术优化出一级描述Ｇａ－Ｉｎ－Ａｓ三元体系热力学性质的数学模型，定量估算了在用外延法制作Ⅲ－Ⅴ族化合物时，由于外延层和衬底晶格不匹配，外延分子晶格弹性形变的
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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1994年4期
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