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以ZnO和A1203为原料，采用冷压成型一高温烧结致密的方法制备超高致密度的AZO靶材。通过实验优化得到的最佳制备AZO靶材的工艺参数是：WAl2O3为2％、锻压压力11MPa、高温烧结温度1200℃，烧结时间5小时，按此条件，制备的AZO靶材相对密度最大（96．63％）。其次是：WAl2O3为4％、锻压压力3MPa、高温烧结温度1300℃、烧结时间2小时，得到的AZO靶材相对密度96．04％。