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本文介绍了目前微电子技术的发展水平,并提出今后技术的发展仍以硅为主流工艺、向系统级芯片和与其他学科相结合的发展趋势,并详细论述了砷化镓、磷化铟、碳化硅、氮化镓等非硅材料的发展情况。
微电子技术发展方向刍议
【摘 要】
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本文介绍了目前微电子技术的发展水平,并提出今后技术的发展仍以硅为主流工艺、向系统级芯片和与其他学科相结合的发展趋势,并详细论述了砷化镓、磷化铟、碳化硅、氮化镓等非
【机 构】
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平顶山工学院
【出 处】
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内江科技
【发表日期】
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2007年10期
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