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本文提出一种优于模拟量输出的数字化传感器.由温度敏感级、加热级和施密特触发器与在加热级和温敏级间的衬底热通路一起构成一个闭环传感器系统.该系统工作在加热和冷却的振荡状态,产生方波输出,其脉宽用作为真空度的量度.该传感器由通用的CMOS技术制备,本文给出了不同真空度下的理论分析与实验结果.
脉宽调制输出的集成真空度传感器
【摘 要】
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本文提出一种优于模拟量输出的数字化传感器.由温度敏感级、加热级和施密特触发器与在加热级和温敏级间的衬底热通路一起构成一个闭环传感器系统.该系统工作在加热和冷却的振
【机 构】
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微电子中心,微电子中心
【出 处】
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东南大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1992年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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