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介绍了电感耦合式等离子清洗系统的原理、结构、组成,以一台已经试制成功的清洗设备为例,介绍了典型设备的系统构成、技术指标以及应用于微波管制造过程中所收到的良好效果。
电感耦合式等离子清洗系统及其在微波管制造中的应用
【摘 要】
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介绍了电感耦合式等离子清洗系统的原理、结构、组成,以一台已经试制成功的清洗设备为例,介绍了典型设备的系统构成、技术指标以及应用于微波管制造过程中所收到的良好效果。
【机 构】
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北京真空电子技术总公司,北京真空电子技术总公司北京
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2008年1期
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