本文介绍了电感耦合式等离子清洗系统的原理、结构、组成，以一台已经试制成功的清洗设备为例，介绍了典型设备的系统构成、技术指标以......

我们对电感耦合式的ＬＣ谐振器进行了研究，在１００ＭＨｚ到１．５ＧＨｚ的频段内测量了这种谐振器的有载品质因数ＱＬ，并在１３０ＭＨｚ的电路上使用电感耦合式谐振器进行了磁场测......

为研究电感耦合式射频离子源性能受离子束流、功率强度、工质流量和栅间电压的影响,以束流直径11 cm射频离子源为对象,完成了射频......

本文主要介绍了电感耦合式射频等离子清洗设备的研制和实验,电感耦合式等离子是等离子应用后期出现的新型方式,除了具有等离子清洗......

介绍了电感耦合式等离子清洗系统的原理、结构、组成,以一台已经试制成功的清洗设备为例,介绍了典型设备的系统构成、技术指标以及......