聚甲基丙烯酸甲酯材质硬X射线组合Kinoform透镜的制作

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：neoo

【摘要】

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为提高硬X射线聚焦元件的聚焦性能，利用LIGA(Iihographie，Galvanofomiung，Abfomiung)技术，制备了深度为60μm的聚甲基丙烯酸甲醋（PMMA)材质硬X射线组合Kinafom透镜(CKL），并获得了良

【作者】

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刘静伊福廷盛伟繁常广才张伟伟

【机构】

：

中国科学院高能物理研究所

【出处】

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光学精密工程

【发表日期】

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2017年11期

【关键词】

：

Kinoform镜 X射线聚焦透镜聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) LIGA技术

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为提高硬X射线聚焦元件的聚焦性能，利用LIGA(Iihographie，Galvanofomiung，Abfomiung)技术，制备了深度为60μm的聚甲基丙烯酸甲醋（PMMA)材质硬X射线组合Kinafom透镜(CKL），并获得了良好的面形。制备的CKL以宽度为几个微米的细窄线条为主要结构，包括曲面和直角面形，线条最窄宽度为2μm。为保证CKL良好的曲面及直角结构，样品制备分为三部分:过渡掩模板的制备，LIGA掩模板的制备，以及最终样品的硬X射线曝光制备。在LIGA掩模板制备过程中，采用制备有纳米柱阵列

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