【摘 要】
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利用直流-射频共溅射法在玻璃基底上低温制备了系列掺铝氧化锌（ZAO）透明导电薄膜。研究了低温溅射过程中倾斜溅射靶偏角对样品电学性能、紫外-可见-近红外光区透过率、X射线衍
【机 构】
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北京航空航天大学物理科学与核能工程学院太阳能技术研究中心,北京京仪博电光学技术有限责任公司,石家庄同人伟业科技有限公司
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利用直流-射频共溅射法在玻璃基底上低温制备了系列掺铝氧化锌（ZAO）透明导电薄膜。研究了低温溅射过程中倾斜溅射靶偏角对样品电学性能、紫外-可见-近红外光区透过率、X射线衍射谱及薄膜表面形貌的影响。结果表明,室温条件下制备的ZAO薄膜具有（002）择优取向,当靶偏角为23°时,薄膜方块电阻最低,可达17Ω/□,电阻率为2.2×10^-3Ω·cm,可见光平均透过率在85%以上,最高可在95%以上。紫外截止和近红外反射效果明显。
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