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MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质

来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kaji2009

【摘 要】

：

采用射频磁控溅射在石英衬底上制备了c轴择优取向的ZnO薄膜,利用蚀刻技术制备了MSM结构的光导型紫外探测器.在3 V偏压下,器件的暗电流小于250 nA,光响应峰值在370 nm,响应度

【作 者】

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赵春雨 张吉英 王晓华 申德振 姚斌 赵东旭 张振中 李炳辉 

【出 处】

：

发光学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

ZnO薄膜 MSM 光导紫外探测器 射频磁控溅射 

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划);国家重点研究项目;国家自然科学基金;教育部跨世纪优秀人才培养计划

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采用射频磁控溅射在石英衬底上制备了c轴择优取向的ZnO薄膜,利用蚀刻技术制备了MSM结构的光导型紫外探测器.在3 V偏压下,器件的暗电流小于250 nA,光响应峰值在370 nm,响应度是0.34 A/W.其紫外(360 nm)与可见光(420 nm)的抑制比为4个数量级.器件的光响应时间上沿仅为20 ns.

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