ITO薄膜性能、应用及其磁控溅射制备技术的研究

来源 :2012船舶材料与工程应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaoyangfei1
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  ITO薄膜具有优良的光电性能,在平板显示器、太阳能等多个领域得到广泛应用。本文重点分析、研究了ITO薄膜的性能、应用以及磁控溅射制备技术,并对相关技术的发展趋势进行了探讨。
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