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详述了电子束曝光系统的原理、种类、系统的构成和合轴的原理,以及如何使NBL(微纳投影)电子束曝光系统更好、更快地进行合轴,从而使NBL电子束曝光机处于最佳工作状态。
基于NBL电子束曝光系统合轴研究
【摘 要】
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详述了电子束曝光系统的原理、种类、系统的构成和合轴的原理,以及如何使NBL(微纳投影)电子束曝光系统更好、更快地进行合轴,从而使NBL电子束曝光机处于最佳工作状态。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2016年12期
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