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本文描述了正在发展中的微加工技术,主要包括光学加工技术和精密机械加工技术.
发展中的微加工技术
【摘 要】
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本文描述了正在发展中的微加工技术,主要包括光学加工技术和精密机械加工技术.
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2003年9期
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