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随着光电子技术和精密加工技术的快速发展，光电子元件的尺寸也越来越小，在制作这些元件的技术中，电子束刻蚀作为制备光子晶体最为稳定可靠的方法，其发展被人们所关注．为此介绍了用电子束刻蚀工艺制备二维光子晶体的方法．
用Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体制备二维光子晶体
【摘 要】
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随着光电子技术和精密加工技术的快速发展，光电子元件的尺寸也越来越小，在制作这些元件的技术中，电子束刻蚀作为制备光子晶体最为稳定可靠的方法，其发展被人们所关注．为此介绍了用
【机 构】
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新疆大学物理系
【出 处】
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喀什师范学院学报
【发表日期】
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2004年6期
【基金项目】
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新疆少数民族科技人才特殊培养科研专项资金赞助.
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