随着光电子技术和精密加工技术的快速发展,光电子元件的尺寸也越来越小,在制作这些元件的技术中,电子束刻蚀作为制备光子晶体最为......

<正> 集成电路(IC)的制流程,犹如一场精致细密的建筑结构施工。建筑师(Designer & Device Owner)将设计蓝图(Lay Out)和施工流程(P......

随着光电子技术和精密加工技术的快速发展，光电子元件的尺寸也越来越小，在制作这些元件的技术中，电子束刻蚀作为制备光子晶体最为稳定......