论文部分内容阅读
本文采用射频磁控溅射技术在钛合金（Ti6Al4V）基体上制备出含氟羟基磷灰石（FHA）生物涂层，探讨该涂层组织结构，不同氟含量和温度对涂层晶化程度的影响。利用扫描电镜（SEM）观察FHA生物涂层的表面形貌，采用X射线衍射仪（XRD）分析涂层相结构，利用能量分散谱仪（EDS）分析涂层的Ca／P比。结果表明，随着氟含量的增加可大大提高涂层的晶化程度，制备的FHA涂层致密、均匀。700℃晶化处理的涂层结晶度较高。