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介绍了一种新型的微机械硅弹簧的设计和制作,运用能量方法推导出了弹性常数的计算公式,并用有限元模拟分析方法求出了其固有频率.有限元模拟工具AN-SYS模拟的结果验证了弹性常数的计算公式,理论分析和实际加工表明设计方案是可行的.
一种新型微机械硅弹簧的设计与制作
【摘 要】
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介绍了一种新型的微机械硅弹簧的设计和制作,运用能量方法推导出了弹性常数的计算公式,并用有限元模拟分析方法求出了其固有频率.有限元模拟工具AN-SYS模拟的结果验证了弹性
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年4期
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