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使用CCD（电荷耦合器）进行光学镀膜宽光谱监控过程中，监测信号受外界杂散光干扰、真空室内背景辐射等因数影响，信噪比低难于准确监控。本文通过对系统前端光路改造以及后期数据数字滤波处理，达到信号压噪目的，使系统在宽光谱膜厚监控过程中具有稳定性好、精度较高、响应速度快等优点．
光学镀膜宽光谱监控的信号压噪
【摘 要】
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使用CCD（电荷耦合器）进行光学镀膜宽光谱监控过程中，监测信号受外界杂散光干扰、真空室内背景辐射等因数影响，信噪比低难于准确监控。本文通过对系统前端光路改造以及后期数据数
【机 构】
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中山大学光电材料与技术国家重点实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年6期
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