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通过对半导体设备产业的特点、作用、地位及技术趋势的分析，根据我国半导体设备工业现状，提出了国内半导体设备产业的发展建议。
我国半导体设备现状及发展建议
【摘 要】
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通过对半导体设备产业的特点、作用、地位及技术趋势的分析，根据我国半导体设备工业现状，提出了国内半导体设备产业的发展建议。
【机 构】
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电子工业部第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1998年01期
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